特定の機能に特化したプラズマ装置 Posts

半導体やレンズ、電子機器などを製造するには有機物や無機物による様々な不純物を除去しなければなりません。

プラズマ洗浄装置には主にアルゴンガスを導入するRIEモードと、酸素ガスを導入するDPモードの2種類が存在します。

プラズマ洗浄装置は基板洗浄に利用されることが多くなっていますが、これには2つの大きな理由があります。

プラズマ洗浄装置は減圧されたチャンバー内にアルゴンガスや酸素ガスを導入します。

プラズマ洗浄装置を使うと、油分洗浄が容易に行うことができるといいます。

半導体などの精密機器は製造過程で有機物や無機物による細かな汚れが発生します。

日本では、世界各地では販売されていない家電を数多く量販店で手に入れることが可能です。

プラズマクリーナーとは別名プラズマ装置と呼ばれ、金属や半導体などを製造する際に素材をプラズマクリーナー内部に入れ、その素材に人工的に発生させたプラズマを当てることにより表面に付着したアルコールなどでは除去できない微細な汚れや油分、有機物、無機物の分解、除去を行うことで印刷やコーティング材の密着性を高めて生産性や品質を向上させる装置です。

プラズマクリーナーには主にアルゴンガスを導入するRIEモードと、酸素ガスを導入するDPモードという２種類の処理方式が存在します。