私たちの身の回りの物は、大きく分けると気体と液体と固体に分類できると言われています。
Leave a Commentカテゴリー: プラズマ装置
プラズマ装置は減圧されたチャンバー内にアルゴンガスや酸素ガスを導入し、高周波電力を電極間に印加してプラズマを発生させます。
Leave a Comment半導体や電子機器、レンズなどの精密機器を製造する過程では有機物や無機物による様々な汚れが発生します。
Leave a Comment一分野の産業を支えている機械
プラズマ装置は減圧されたチャンバー内にアルゴンガスや酸素ガスを導入し、高周波電力を電極間に印加してプラズマを発生させます。
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