プラズマ洗浄装置には主にアルゴンガスを使うタイプと酸素ガスをタイプの2種類が存在します。
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プラズマ洗浄装置は一瞬で様々な物の表面のチリやホコリを除去することができるため、様々な用途で利用されています。
Leave a Commentプラズマ洗浄装置は高品質な半導体や電子機器などの精密機器を効率的に製造したい場合に使われています。
Leave a Comment半導体やレンズ、電子機器などを製造するには有機物や無機物による様々な不純物を除去しなければなりません。
Leave a Commentプラズマ洗浄装置には主にアルゴンガスを導入するRIEモードと、酸素ガスを導入するDPモードの2種類が存在します。
Leave a Commentプラズマ洗浄装置は基板洗浄に利用されることが多くなっていますが、これには2つの大きな理由があります。
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