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プラズマ洗浄装置の効果的な使用方法とは

プラズマ洗浄装置には主にアルゴンガスを使うタイプと酸素ガスをタイプの2種類が存在します。前者は有機物と無機物の両方に対応していますが後者は有機物のみに対応しています。汚れの状況に応じて最適なタイプのプラズマ洗浄装置を使うと、精密機器の生産性が大幅に向上します。半導体など精密機器を製造する過程では有機物や無機物による様々な汚れが生じます。

細かな汚れを放置すると品質劣化の原因になるため取り除く必要があります。精密機器が完成するまでには何度も洗浄作業を繰り返す必要があり、生産性を向上させるには1回あたりの作業時間を短縮しなければなりません。塩酸やアンモニアなどの薬液を使用するウェット洗浄は難易度が低いものの、ドライ洗浄と比べて時間がかかるのがデメリットです。ウェット洗浄では最後に薬液を洗い流して乾燥させる必要があります。

プラズマ洗浄装置はドライ洗浄なので薬液を洗い流して乾燥させる工程が必要なく、1回あたりの作業時間が短いというメリットが存在します。装置を正しく扱うには知識や経験が必要になりますが、上手く使いこなせば効率的に汚れを取り除くことができます。プラズマ洗浄装置は減圧されたチャンバー内に気体を導入し、高周波電力を電極間に印加してプラズマを発生させます。気体にエネルギーを与え続けると分子から原子が離れ、最終的にイオンと電子に分かれたプラズマの状態になります。

主にアルゴンガスを使うタイプは加速したイオンを有機物や無機物に衝突させて弾き飛ばします。一方で主に酸素ガスを使うタイプは酸素分子から離れた原子が有機物と化学反応を起こし、水分子や二酸化炭素に変えます。異なるタイプのプラズマ洗浄装置を上手く活用すれば、精密機器の品質と生産性を向上させることができます。

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