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様々な所で役に立つプラズマ装置

私たちの身の回りの物は、大きく分けると気体と液体と固体に分類できると言われています。おおよそのものは、このような分類でことたりるのですが、特殊な状況としてその他の視点からの分類もあり、プラズマ状態もその一つです。プラズマとは、エネルギーが高い状態のイオンがガス化したような状況を指します。大変エネルギーが高いために、普通の状況ではできないような化学反応を発生したり、状況を作り出したりすることができるようになっています。

このプラズマの状態は、その周りどのような環境が実現しているかで変わってきます。そのために、周りに様々なガスを封入した状態でプラズマを発生するというような装置もあります。プラズマ装置には、さまざまなタイプのものがあり利用や用途も多彩です。一つの例を挙げると、半導体技術で利用されるような微細な部分の洗浄にプラズマを利用するということがあります。

極めて高いエネルギー状態のものを吹きつけることによって、微小なゴミを洗浄するというものです。その他プラズマ装置には、化学反応を起こさせるようなタイプのものもあります。普通の状況では達成できないような環境を作り出しますので、特殊な材料を作製することが可能となってきます。さらに、プラズマを基盤などに吹き付けることによって独特のコーティングを行うというような装置もあります。

その際に化学反応を起こさせ、他にはないような性質を持たせるような技術も開発されてきました。このようにプラズマ装置は様々な用途で利用されており、先端材料の作成には欠かせないものとなっています。

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