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プラズマ装置はコスト削減に貢献します

プラズマ装置は減圧されたチャンバー内にアルゴンガスや酸素ガスを導入し、高周波電力を電極間に印加してプラズマを発生させます。この装置にはRIEモードとDPモードという2種類の処理方式があり、異なる仕組みで精密機器に付着した汚れを取り除きます。前者は主にアルゴンガスを導入するタイプで、有機物と無機物の両方に対応しています。後者は主に酸素ガスを導入するタイプで有機物による汚れのみを取り除くことができます。

製品の品質を向上させるには状況に応じてこれらを使い分けることが大切です。電子機器や半導体、レンズなどの精密機器は製造過程において有機物や無機物による細かな汚れが発生します。細かな汚れを除去する方法にはアンモニアや塩酸など薬液を使用するウェット洗浄と、プラズマ装置のようなドライ洗浄があります。ウェット洗浄は手軽に行うことができますが、最後にリンスで薬液を洗い流して乾燥させなければなりません。

1回あたりの洗浄作業に時間がかかるだけでなく、高価な超純水を使うためコストがかかります。プラズマ装置を効果的に扱うには知識と経験が必要とされます。この装置は薬液を使わないため、上手く使いこなせばコストを抑えつつ効率的に汚れを取り除くことができます。精密機器は完成までに何度も洗浄作業を繰り返して細かな汚れを取り除く必要があります。

ドライ洗浄を行うプラズマ装置は効率性が優れており、高品質で低価格な製品を素早く作ることができます。

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