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プラズマ洗浄装置はなぜ基板洗浄に利用されるのか

プラズマ洗浄装置は基板洗浄に利用されることが多くなっていますが、これには2つの大きな理由があります。1つは法典の効果によって表面のゴミやほこりを瞬時に取り去ることができるため、手作業で洗浄を行う場合に比べ大幅に時間を短縮することができることです。さらに手作業で行う場合には専用の洗浄液を利用することになりますが、実際に部品を取り付ける際にはこの洗浄液が完全に乾燥してから行わなければならず、その時間的なロスが発生するため作業性を著しく損ねてしまうことになりかねません。この点ではプラズマ洗浄装置は液体を使用しないため、洗浄後すぐに部品の取り付けを行うことができることが非常に効率的となっています。

もう一つは、プラズマ洗浄装置が基板の表面に適度に傷をつけることができ、部品の接着力を高めるのに非常に効果的であると言うことです。従来手作業で基板を洗浄する場合には、表面をワイヤーブラシでこすると言う作業が行われていました。これは一般的には表面のゴミを取り除くために使用されるものと考えられていることが多いのですが、実際にはワイヤーブラシで表面に微細な傷をつけ、これによって表面積を大きくし接着力を高める効果があります。この2つの効果を同時に一瞬で行うことができるのがプラズマ洗浄装置であるため、非常に効率の良い洗浄方式となっており様々な場面で広く利用されているのがその理由です。

プラズマ洗浄装置を利用することによって、基板洗浄を効率化し、作業スピードを格段に高めることができます。

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